[发明专利]一种非对称式薄膜压力传感器在审
| 申请号： | 202211486011.6 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN116067533A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 张永亮;赵红宇;郑航;马宏昊;海得琛;杨科 | 申请（专利权）人： | 合肥知路科技有限公司;中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 疏亚雅 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区望江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非对称式薄膜压力传感器，涉及传感器技术领域。本发明包括开设有通孔的间隔层、聚偏氟乙烯压电膜、下电极片、设置于聚偏氟乙烯压电膜上部迎波面的上电极片、外绝缘层、接线端点；位于聚偏氟乙烯压电膜高出间隔层的侧面与上电极片迎波斜面以及间隔层的上表面形成棱台环状形的空隙，间隔层及聚偏氟乙烯压电膜、下电极片、上电极片、外绝缘层相叠形成非对称式结构。本发明通过预压措施将聚偏氟乙烯压电膜的另一侧与下部PI覆铜膜紧密贴合，采用聚偏氟乙烯压电膜凸起的设计，非对称式薄膜压力传感器能够获取得到更大入射角度加载工况下的信号捕捉率，减小封装层运动的影响，减小较大的迎波面封装带来的表面褶皱影响测量的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】：
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