[发明专利]一种基于光干涉的主轴旋转偏离情况测量装置在审
申请号: | 202211468563.4 | 申请日: | 2022-11-22 |
公开(公告)号: | CN115790374A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 林澎;孙荣敏;丁伟;潘宇倩;张宏献;王文军;冯树强;钟礼君;孙颖;于祥昱;常志鹏 | 申请(专利权)人: | 柳州工学院 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/26;G01B11/02 |
代理公司: | 广西中知华誉知识产权代理有限公司 45140 | 代理人: | 白立鸿 |
地址: | 545616 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明提供一种基于光干涉的主轴旋转偏离情况测量装置,包括转角测量组件、位移测量组件、俯仰角测量组件及姿态检测光干涉模组,转角测量组件包括固定座、旋转座及转角测量光干涉模组,旋转座与固定座转动连接;转角测量光干涉模组设于旋转座上以测量旋转座的转动角度;位移测量组件包括移动座及位移测量光干涉模组,移动座滑动地设于旋转座上,位移测量光干涉模组设于旋转座及移动座上,以测量移动座的位移;俯仰角测量组件包括俯仰座及俯仰角测量光干涉模组,俯仰座转动地装设于移动座上,俯仰角测量光干涉模组装设在移动座及俯仰座上,以测量俯仰座的摆动角度;姿态检测光干涉模组装设于俯仰座上。其能够提高对主轴旋转偏离情况测量的精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 干涉 主轴 旋转 偏离 情况 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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