[发明专利]具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN纳米复合涂层及其制备在审
| 申请号： | 202211462027.3 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN116904923A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 范其香;张硕;郭明璐;吴正环;王铁钢;曹凤婷 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心） |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN复合涂层及其制备。该涂层采用脉冲直流磁控溅射和射频直流磁控溅射复合技术沉积而成，靶材选用AlCrTi合金靶与单质Si靶。合金靶与直流电源连接，单质Si靶与射频电源连接。镀膜时开启AlCrTi合金靶，调整偏压至‑20～150V并将真空室压强调至0.3～1.0Pa，沉积AlCrTi过渡层，沉积时间10～30min。保持AlCrTi开启并通入反应气体N |
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| 搜索关键词： | 具有 纳米 复合 结构 单一 alcrtisin 涂层 及其 制备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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