[发明专利]一种真空抗磁悬浮力探测器及其应用方法有效
| 申请号： | 202211461196.5 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN115493726B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 熊芳;吴通;郭磊磊 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L9/14;G06F30/17;G06F30/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空抗磁悬浮力探测器及其应用方法。真空抗磁悬浮力探测器包括：磁悬浮势阱、悬浮机械摆、真空腔、探测光路及外围电路；所述悬浮机械摆上端为抗磁材料，位于磁势阱中，为悬浮机械摆提供悬浮力，下端通过小杆与上端相连，小杆穿过磁悬浮势阱通孔，下端露出磁悬浮势阱；真空腔包括温控系统、多级隔振系统，以及信号发生与处理模块、探测模块；温控系统使得真空腔保持恒温，多级隔振系统用于隔绝外界振动干扰，信号发生与处理模块用于调制解调力信号，探测模块用于探测所述悬浮机械摆的运动。本发明对一些短程力的探测具有重要应用价值，亦可对原子力显微镜进行改进，悬浮机械振子比AFM采用的悬臂梁结构具有更高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 磁悬浮 探测器 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
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