[发明专利]一种托盘基座测速设备在审
| 申请号： | 202211460102.2 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN115712000A | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 宋波波;张新河;刘春俊;郭钰;彭同华;邹宇;张平;曾江;杨建 | 申请（专利权）人： | 深圳市重投天科半导体有限公司;江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36;G01P3/40 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 林哲生 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区石*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开的托盘基座测速设备，包括外延反应腔室、托盘基座和测速装置。外延反应腔室的两端分别设置有进气端口和出气端口以及连通进气端口和出气端口，用于供反应气流动的气流通道；托盘基座转动设置于外延反应腔室内，气流通道流经托盘基座，托盘基座的下方设置有随托盘基座同步转动的测速叶轮，且测速叶轮位于气流通道的外部；测速装置包括信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接收器分别设置于外延反应腔室的两端。本发明提供的托盘基座测速设备的测速叶轮设置于托盘基座的下方且位于气流通道的外部，避免了测速叶轮对反应气气流的影响，同时实现了对托盘基座转速的测量，提高了外延生长晶体的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 托盘 基座 测速 设备 | ||
【主权项】：
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