[发明专利]具有模式调控功能的VCSEL激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211427480.0 | 申请日： | 2022-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN115693394A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张建伟;徐玥辉;张星;周寅利;陈超;吴昊;张大勇;宁永强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/065 | 分类号： | H01S5/065;H01S5/183 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有模式调控功能的VCSEL激光器及其制备方法，其中的VCSEL激光器包括输出高阶模光束和基模光束的出光口，在出光口的表面制备对高阶模光束进行折转的模式调控结构，使高阶模光束与基模光束发生分离。与现有技术相比，本发明在VCSEL的表面集成模式调控结构，只对出光孔边缘的高阶模光束进行滤除，而不影响中心区域的基膜光束的稳定输出，不会降低基模光束的输出损耗，同时还具有制备工艺简单的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 模式 调控 功能 vcsel 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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