[发明专利]一种基于大口径微位移调整架的干涉测量方法在审
| 申请号： | 202211423301.6 | 申请日： | 2022-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN115790442A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 朱日宏;刘斯靓;韩志刚;马骏;陈磊;郑东晖 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于大口径微位移调整架的干涉测量方法，首次采用适用于装夹重量大于50kg，600mm口径以上光学元件的大口径微位移调整架，大口径微位移调整架包括底座、镜架、定轴、第一微位移组件、动板、俯仰调节传动组件、偏摆调节传动组件、第一手轮、第二手轮。镜架与动板紧密贴合共同运动，微位移组件带动大口径光学元件产生纳米级步进，实现高精度机械移相，底座通过定轴、两组传动组件与动板传动，定轴保证底座和动板相对位置不变，传动组件可调节动板相对于底座的俯仰、偏摆，此装置实现了在进行大口径光学元件干涉测量时，兼顾二维偏摆调节及高精度机械移相的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 口径 位移 调整 干涉 测量方法 | ||
【主权项】：
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