[发明专利]一种集成纳米裂纹传感单元的超灵敏柔性电子触须的制造方法在审
| 申请号： | 202211423263.4 | 申请日： | 2022-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN115682912A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘军山;张弛;朱一柯;吴梦希 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 许明章;王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种集成纳米裂纹传感单元的超灵敏柔性电子触须的制造方法，属于触觉传感领域。该方法首先，制作集成纳米裂纹应变传感单元的梁。其次，制作带有固定电极的基板。最后将纳米裂纹应变传感单元与带有固定电极的基板完成键合。本发明制造的柔性电子触须将具有超高灵敏度和柔性的纳米裂纹应变传感单元集成在电子触须传感器悬臂梁的固定端附近，不仅能够保持柔性电子触须传感器的柔性，还可以大大提高其灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 纳米 裂纹 传感 单元 灵敏 柔性 电子 触须 制造 方法 | ||
【主权项】：
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