[发明专利]具有回扫特征静电防护机构关键参数的测试装置和方法在审
| 申请号： | 202211423030.4 | 申请日： | 2022-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN115712048A | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 杨帆;姜一波;吴瑕;彭鑫 | 申请（专利权）人： | 江苏庆延微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R19/00 |
| 代理公司： | 常州西创专利代理事务所(普通合伙) 32472 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 213125 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有回扫特征静电防护机构关键参数的测试装置和方法。Pwell区域、Nc缓变电容区域、Nr电阻区域、重掺杂N++、重掺杂N++、Psw区域、反型氧化层上电极以及金属连接一同构成的具有回扫特征静电防护机构关键参数的测试装置的主体。本发明克服了最小回穿电压和最小维持电流不易直接测量的缺陷，能够直接测量出具有回扫特征静电防护机构的最小回穿电压和最小维持电流；摆脱了对中高端的功率半导体扫描仪和TLP测试系统的依赖，所用测试设备为常见基础设备而非昂贵复杂的测试设备；测试过程中电压电流变化都较为平缓，避免了dv/dt、电感冲击等的影响，测量结果稳定，测量的一致重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 特征 静电 防护 机构 关键 参数 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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