[发明专利]一种质谱仪真空度实时监测装置在审
| 申请号： | 202211416630.8 | 申请日： | 2022-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN116183143A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王璐菊;吴海荣;刘天瑞;耿广善;王少勇 | 申请（专利权）人： | 苏州博维仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/34 | 分类号： | G01M3/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种质谱仪真空度实时监测装置，包括监测机构和真空腔体，所述真空腔体一侧安装有监测机构；所述监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，所述主控系统与数据处理系统连接，所述数据处理系统与数据采集系统连接。本发明，监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，主控系统与数据处理系统连接，数据处理系统与数据采集系统连接；可实时监测真空腔体的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质谱仪 真空 实时 监测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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