[发明专利]液态化学品检测装置和包含其的基板处理装置在审
| 申请号： | 202211409287.4 | 申请日： | 2022-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN116223565A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 孙永俊;尹荣云;郑星哲 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;H01L21/687;H01L21/66;H01L21/67;B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的液态化学品检测装置包括：基座部，形成有供液态化学品流入的入口；流道部，包括：第一区域部，与基座部的入口相邻布置，且由入口流入的液态化学品在第一区域部中以改变的流体速度移动；以及第二区域部，与第一区域部串联连通，且从第一区域部排出的液态化学品在第二区域部中移动；感测部，包括：第一感测部件，感测作为第一区域部的电信号的第一信号；以及第二感测部件，感测作为第二区域部的电信号的第二信号；以及辨别部，接收来自感测部的信号，当第一信号和第二信号的电流相对于参考值变化时，判断为感测到颗粒和气泡，并根据第一信号与第二信号的电流差或电流变化的时间差来分辨颗粒和气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 化学品 检测 装置 包含 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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