[发明专利]一种双侧干涉仪在审
| 申请号： | 202211394557.9 | 申请日： | 2022-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN115824035A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 陈梦来 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015;G01B11/24 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 廉海涛 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双侧干涉仪，所述双侧干涉仪中，其中一侧干涉仪的准直镜与参考镜之间设有第一阻光装置，所述第一阻光装置上开设有第一通孔，所述第一通孔孔径大于待测非透明基板的外径并小于本侧干涉仪的参考镜口径，用于阻绝在测量空腔形貌中本侧干涉仪对对侧干涉仪的干扰。通过设置阻光装置，阻止在测量空腔形貌中一侧的输出光对另一侧干涉仪的干扰，可在测量非透明基板正反面形貌的同时获得两个参考镜间的形貌，尤其是获得一阶倾斜信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉仪 | ||
【主权项】：
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