[发明专利]磁传感器、磁场测量方法及磁传感器的制备方法有效
申请号: | 202211385131.7 | 申请日: | 2022-11-07 |
公开(公告)号: | CN115685019B | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 李鹏;田兵;吕前程;骆柏锋;张佳明;樊小鹏;尹旭;王志明;刘仲;林力;徐振恒;韦杰;谭则杰;林秉章;何毅;钟枚汕;卢星宇;张伟勋;陈仁泽;孙宏棣 | 申请(专利权)人: | 南方电网数字电网研究院有限公司 |
主分类号: | G01R33/00 | 分类号: | G01R33/00;G01R33/02 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 胡雪 |
地址: | 510700 广东省广州市黄*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种磁传感器、磁场测量方法及磁传感器的制备方法,磁传感器包括:衬底层;导电磁敏感层,形成于衬底层上,用于在一测试电流的作用下输出磁场测量信号,磁场测量信号用于表征待测磁场的场强;忆阻材料层,形成于导电磁敏感层上;顶电极层,形成于忆阻材料层上,顶电极层与导电磁敏感层间用于加载一可调的脉冲电压信号;其中,忆阻材料层在不同的脉冲电压信号作用下的阻态不同,且忆阻材料层在不同的脉冲电压信号作用下与导电磁敏感层之间的氧空位注入情况不同。本发明的磁传感器的量程和工作模式可调,兼具宽量程和高精度的工作特性,能够高效准确地获取待测磁场的场强。 | ||
搜索关键词: | 传感器 磁场 测量方法 制备 方法 | ||
【主权项】:
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