[发明专利]冷阴极平板相干X射线源及其制备方法在审
| 申请号： | 202211371927.7 | 申请日： | 2022-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN115692141A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈军;康颂;邓少芝;许宁生 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01J35/06 | 分类号： | H01J35/06;H01J35/08;H01J9/00;H01J9/02;H01J9/18 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谭英强 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种冷阴极平板相干X射线源及其制备方法，包括阳极基板、阴极基板、绝缘隔离体及排气装置；阳极基板包括阳极衬底、阳极导电层及若干个透射靶，阳极导电层的两侧分别为阳极衬底及周期性分布的透射靶；或，阳极基板包括阳极衬底、阳极导电层、透射靶膜层及若干个吸收光栅，阳极衬底的一侧依次设置有阳极导电层和透射靶膜层，另一侧设置有周期性分布的吸收光栅；阴极基板包括阴极衬底及阴极衬底依次设置的阴极导电层、生长源薄膜和纳米冷阴极电子源；阳极导电层与阴极导电层相对平行；绝缘隔离体设置于阳极基板及阴极基板之间，以形成密闭空间。本发明实施例能够减低工作温度，实现大面积平面发射相干X射线，可广泛应用于电子元器件。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 平板 相干 射线 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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