[发明专利]一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法在审
| 申请号： | 202211340923.2 | 申请日： | 2022-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN115522264A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 景彦姣;彭平;高志强;夏中高;李旭杰;李兴光 | 申请（专利权）人： | 平煤隆基新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/18;C30B29/06 |
| 代理公司： | 郑州隆盛专利代理事务所(普通合伙) 41143 | 代理人： | 赵媛媛 |
| 地址： | 461000 河南省许*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，所述扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中所述炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：步骤S1：升温干化；步骤S2：恒温恒压抽空清理；在所述步骤S1的扩散炉管中充入氧气氧化，控制氧气流量为0.5～2L/min，时间为30～50min；步骤S3：降温回常压。本发明具有的优点是无需拆卸清洗被污染的炉管，解决了炉管污染，缩短了炉管的清洗维护时间，节省了清洗炉管所需要的化学品及纯水，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 炉管 清理 方法 | ||
【主权项】：
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