[发明专利]一种石墨烯混合硅基Fano共振调制器及其测试系统在审
| 申请号： | 202211340279.9 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115857099A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 鹿利单;倪家融;祝连庆;董明利;张旭;夏嘉斌 | 申请（专利权）人： | 广州市南沙区北科光子感知技术研究院;北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京恒律知识产权代理有限公司 11416 | 代理人： | 庞立岩 |
| 地址： | 511400 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨烯混合硅基Fano共振调制器，包括：绝缘体上硅基层，以及在所述绝缘体上硅基层上形成的微环谐振器结构，其中，所述微环谐振器结构包括直波导和环形波导，在所述直波导的耦合区域开设一个或多个空气洞；在所述绝缘体上硅基层上铺设单层石墨烯，其中，所述单层石墨烯覆盖所述微环谐振器结构。与现有的硅基光学调制器相比，本发明结构简单，占用空间少，易于生产，能够实现更高的开关速率和调制速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 混合 fano 共振 调制器 及其 测试 系统 | ||
【主权项】：
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