[发明专利]基于介电弹性体驱动的纳米级高精度运动平台

摘要

本发明提供了精度运动平台技术领域一种基于介电弹性体驱动的纳米级高精度运动平台，包括静平台、介电弹性体作动器、动平台、末端执行器接口、运动控制系统、自传感系统、人机交互系统。介电弹性体作动器一端连接动平台，介电弹性体作动器另一端连接静平台，且介电弹性体作动器通电产生伸缩运动。通过协同控制多个介电弹性体作动器的运动实现多个方向的平动自由度运动。本发明通过协同控制多个介电弹性体作动器的运动，实现X、Y、Z三个方向的平动自由度运动，使用灵活多变，不受固定方向限制。通过在介电弹性体作动器上设置自传感采集电路实现运动平台的运动位置闭环控制，无须外部的传感器，不受安装空间的限制。