[发明专利]一种微腔滤光器阵列的实现方法在审
| 申请号： | 202211333694.1 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115718339A | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 孙志军;曾生林;刘聪聪 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种微腔滤光器阵列的实现方法，涉及滤光器。提供尤其是其中具有不同厚度腔内介质层的各个滤光器单元的设计和制备方法。所述微腔滤光器阵列的滤光器单元包括位于衬底上的第一反射层和第二反射层、以及位于它们中间具有不同厚度的腔内介质层。微腔滤光器阵列的实现方法为通过较少次数的光刻剥离工艺实现微腔滤光器阵列中较多数目滤光器单元的设计和制备方法，其中包括微腔滤光器阵列中的滤光器单元及其腔内介质层厚度的设计方法、微腔滤光器阵列中各个滤光器单元的腔内介质层厚度的分配及每次光刻剥离工艺中镀膜区域选择的方法、以及微腔滤光器阵列中的滤光器单元的腔内介质层的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤光 阵列 实现 方法 | ||
【主权项】：
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