[发明专利]一种用于超纯水及液体化学试剂的组件颗粒脱落检测系统在审

专利信息
申请号: 202211331009.1 申请日: 2022-10-27
公开(公告)号: CN115711844A 公开(公告)日: 2023-02-24
发明(设计)人: 侯晓晨;贺贤汉;邹冰杰;张正伟 申请(专利权)人: 上海富乐德智能科技发展有限公司
主分类号: G01N15/10 分类号: G01N15/10
代理公司: 上海申浩律师事务所 31280 代理人: 陆叶
地址: 200444 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种用于超纯水及液体化学试剂的组件颗粒脱落检测系统,包括一测试系统,测试系统包括连接管路、第一阀体、第二阀体、流量计、存储槽和液体颗粒计数器,连接管路包括第一段管路和第二段管路,第一阀体与第二阀体通过第一段管路并联,第二阀体的右侧连接测试组件,第一段管路的一端与进水口导通,第一段管路的另一端与存储槽导通,在靠近存储槽的连接管路上固定有流量计,存储槽通过第二段管路与出水口连接,且第二段管路与出水口之间安装有液体颗粒计数器,存储槽放置在一水槽中。
搜索关键词: 一种 用于 超纯水 液体 化学试剂 组件 颗粒 脱落 检测 系统
【主权项】:
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