[发明专利]光纤湿度传感器及形成方法在审
| 申请号： | 202211328466.5 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115684089A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 龙亮;郭智慧;钟少龙;郭凉杰 | 申请（专利权）人： | 上海拜安传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01N21/01;G01L1/24;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 201210 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光纤湿度传感器及形成方法，包括：湿敏薄膜，用于吸收水分；第一支撑结构，湿敏薄膜位于第一支撑结构的第一面；应变梁，与第一支撑结构连接，应变梁受力能产生形变；第一高反膜，位于第一支撑结构的第二面；第二高反膜，与第一高反膜相对且对准第一高反膜，第一高反膜和第二高反膜之间形成FP腔体，并且第一高反膜和第二高反膜之间的距离为FP腔体的腔长。在本发明中，湿敏薄膜吸收了水分以后内部应力发生变化导致第一支撑结构发生形变，从而改变FP腔体的腔长，导致FP腔输出的干涉光的波长发生改变，通过读取FP腔输出的干涉光的波长可以准确地得知环境湿度。本发明可以在任何恶劣环境下使用，并且提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 湿度 传感器 形成 方法 | ||
【主权项】：
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