[发明专利]双平行狭缝波导模斑变换器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211314776.1 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN115524790A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 翟鲲鹏;白金花;张心研;袁海庆;王欣;李明;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/124 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种双平行狭缝波导模斑变换器及其制备方法，器件包括：衬底，埋氧层，形成于衬底上；芯片层，形成于埋氧层上；其中，芯片层上刻蚀有波导结构，从芯片层的一端到另一端，波导结构包括依次连接的周期光栅、过渡区和有源调制区，有源调制区中形成有双平行狭缝结构；周期光栅用于将光转化为垂直耦合出射，过渡区和有源调制区用于将波导结构中的光场模式转化为双狭缝波导模式。该双平行狭缝波导模斑变换器耦合效率高，耦合损耗低，并且器件尺寸小，易于封装。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 狭缝 波导 变换器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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