[发明专利]一种NiCr合金靶材制备方法在审

专利信息
申请号: 202211298884.4 申请日: 2022-10-26
公开(公告)号: CN115522086A 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 张玉玲 申请(专利权)人: 基迈克材料科技(苏州)有限公司
主分类号: C22C1/03 分类号: C22C1/03;C22C19/05;C22F1/10
代理公司: 苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙) 32420 代理人: 薛芳芳
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种NiCr合金靶材制备方法,涉及溅射镀膜领域,旨在解决目前NiCr合金靶材制备复杂的问题,其技术方案要点是:S1:选用Ni锭和Cr锭作为原料,先制作Ni90Cr10中间合金锭;然后将Ni锭和中间合金锭加入熔炼设备中,浇铸制备NiCr合金锭;S2:将所述合金锭在热等静压设备下成型,得到NiCr合金热压锭;S3:将所述合金热压锭在挤压设备下成型,冷却后得到NiCr合金挤压毛坯板;S4:将所述NiCr合金挤压毛坯靶退火处理,退火温度为900~1100℃,保温时间为0.5~2h,冷却后得到NiCr合金毛坯靶;S5:将所述NiCr合金毛坯靶机加工后得到所需尺寸的NiCr平面靶材。本发明的一种NiCr合金靶材制备方法工序简单,晶粒均匀。
搜索关键词: 一种 nicr 合金 制备 方法
【主权项】:
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