[发明专利]一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器在审
| 申请号： | 202211274703.4 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115639506A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 穆宜敏;王晓荣;朱文俊;张梦怡;易阳 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 南京源古知识产权代理事务所(普通合伙) 32300 | 代理人： | 毕景峰 |
| 地址： | 211816 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，所述磁传感器自下而上依次为绝缘基底、底层磁性薄膜、组合线圈和顶层磁性薄膜；组合线圈和底层磁性薄膜以及顶层磁性薄膜之间均设有绝缘隔离层；底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜为矩形的平面磁性薄膜或者表面条栅图案磁性薄膜；且底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜中至少有一个为表面条栅图案磁性薄膜；组合线圈为双螺旋线圈结构，包括交替设置的激励线圈和感应线圈。本发明不仅削弱了表面条栅图案磁性薄膜长度方向的退磁效应，增强了表面条栅图案磁性薄膜长度方向的有效磁导率，还抑制了涡流噪声，从而实现低噪声高灵敏度的磁场检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 灵敏度 微型 平面 叠层磁 感应 传感器 | ||
【主权项】：
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