[发明专利]一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器

权利要求书

1.一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，其特征在于，所述磁传感器自下而上依次为绝缘基底、底层磁性薄膜、组合线圈和顶层磁性薄膜；组合线圈和底层磁性薄膜以及顶层磁性薄膜之间均设有绝缘隔离层；底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜为矩形的平面磁性薄膜或者表面条栅图案磁性薄膜；且底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜中至少有一个为表面条栅图案磁性薄膜；组合线圈为双螺旋线圈结构，包括交替设置的激励线圈和感应线圈，激励线圈和感应线圈均为平面矩形螺旋结构；组合线圈和表面条栅图案磁性薄膜呈垂直交叉设置；

表面条栅图案磁性薄膜包括表面光滑磁性薄膜和多个条栅图案磁性薄膜；多个条栅图案磁性薄膜等间距地排列在表面光滑磁性薄膜上；表面光滑磁性薄膜和单个条栅图案磁性薄膜均为矩形；条栅图案磁性薄膜的长边垂直于表面光滑磁性薄膜的长边；单个条栅图案磁性薄膜的长宽比不低于十；条栅图案磁性薄膜的长度和表面光滑磁性薄膜的宽度相同；表面光滑磁性薄膜位于组合线圈一侧；激励线圈和感应线圈的两端均设有电极，激励线圈的其中一个电极为电激励信号的输入端，另一个电极为电激励信号的输出端；感应线圈两个电极的电势差为输出信号。

2.根据权利要求1所述的一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，其特征在于，所述基底为硅基片、石英玻璃基片或氧化铝基片。

3.根据权利要求1所述的一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，其特征在于，所述激励线圈和感应线圈的材料均为铜。

4.根据权利要求2或3所述的一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，其特征在于，所述组合线圈设有一个或多个，多个组合线圈的激励线圈之间电连接；多个组合线圈的感应线圈之间电连接。

5.根据权利要求4所述的一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，其特征在于，所述绝缘隔离层材料为氮化硅或聚酰亚胺。

6.根据权利要求4所述的一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，其特征在于，所述低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器采用微加工工艺制备。

7.根据权利要求6所述的一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器，其特征在于，激励线圈和感应线圈的电极位于顶层磁性薄膜的侧面或顶层磁性薄膜的底部；当电极位于顶层磁性薄膜的底部时，顶层磁性薄膜上开设对应的开孔以暴露出电极的位置。