[发明专利]一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器在审
| 申请号： | 202211262261.1 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115638959A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 谌桂萍;张清华;温圣林;李海波;唐才学;颜浩;嵇保建;邓燕;李昂;杨春林;欧阳升 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器，包括：沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜组，补偿镜用于平衡待测非球面的初级球差，场镜组用于将补偿镜成像在待测非球面上，并平衡待测非球面的高级球差，场镜组包括沿光轴依次设置的第一场镜和第二场镜。本发明可以实现非球面高精度检测，为同等难度及其以下的非球面高精度检测提供了一种有效的初始结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 口径 陡度 球面 高精度 补偿 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211262261.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
