[发明专利]一种高蚀刻速率与深宽比的铝蚀刻液制备方法有效
| 申请号： | 202211261256.9 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115679328B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 黄锣锣;贺兆波;叶瑞;张庭;钟昌东;张演哲;黎鹏飞;刘悦 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/36 | 分类号： | C23F1/36 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高蚀刻速率与深宽比的铝蚀刻液制备方法。该铝蚀刻液由三乙醇胺、缓蚀剂、pH调节剂、阴离子型表面活性剂和去离子水组成。其中，三乙醇胺用于提升蚀刻液的粘度，缓蚀剂与蚀刻液粘度协同调节蚀刻液的异向传质，减少铝的侧蚀量，pH调节剂提升蚀刻液的碱性来加快蚀刻速率。在制备过程中，通过控制各组分的添加量和顺序，搅拌均匀后再通过pH调节剂控制蚀刻液的碱性，使其提高铝蚀刻液的蚀刻速率。本发明中的铝蚀刻液能缩短铝蚀刻工艺时间，并满足高深宽比的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 速率 制备 方法 | ||
【主权项】：
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