[发明专利]电感耦合等离子体电离度的测量校准方法和装置在审
| 申请号： | 202211252315.6 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN115499991A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 孙金海;刘永强;蔡禾;张旭涛;朱先立 | 申请（专利权）人： | 北京环境特性研究所 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 周娇娇 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及电离度计算技术领域，特别涉及一种电感耦合等离子体电离度的测量校准方法和装置。方法包括：获取利用激光汤姆孙散射测量系统测得的待计算ICP发生器的第一管口气压和第一电子密度分布；基于验证好的ICP发生器的仿真模型、第一管口气压、第一电子密度分布和电子密度最大值，对ICP发生器进行气压校准，以得到ICP发生器内电子密度最大值处的第一真实气压；基于第一电子密度分布和第一真实气压，计算ICP发生器内的第一电离度；基于仿真模型和第一真实气压，对ICP发生器的等离子体反应过程进行仿真，得到ICP发生器内的第二电离度；利用第二电离度对第一电离度进行验证。本方案可以准确测量并校准电感耦合等离子体发生器内各个位置处的等离子体电离度。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 电离 测量 校准 方法 装置 | ||
【主权项】：
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