[发明专利]一种半导体器件老炼测试夹具有效
| 申请号： | 202211233219.7 | 申请日： | 2022-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN115308452B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 王迅;夏泽平;叶峰;叶剑军;张洪威 | 申请（专利权）人： | 杭州三海电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 四川中代知识产权代理有限公司 51358 | 代理人： | 叶任海 |
| 地址： | 311100 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种半导体器件老炼测试夹具，包括调控模块和至少两个控制臂，控制臂上设有适配区，适配区内设有适配机构，适配机构包括第一驱动模块和接触单元，所述第一驱动模块用于驱动接触单元实现对目标夹持物的夹持，接触单元包括可控变形体。本发明通过驱动接触单元上可控变形体在夹持过程中让其形态跟随对应目标夹持物的接触面改变，使得接触单元与目标夹持物对应外壁面贴合，进而有效增大接触单元与目标夹持物之间的有效接触面积，保证夹具在对半导体器件进行夹取的过程中作用在半导体器件上的压强始终处于可承受阈值内，保证半导体器件在老炼测试过程中的安全性和老炼测试准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 测试 夹具 | ||
【主权项】：
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