[发明专利]一种球面镜本征双折射检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 202211228083.0 | 申请日： | 2022-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN115615671A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 胡敬佩;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 上海镭望光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/23 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 秦翠翠 |
| 地址： | 201821 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种球面镜本征双折射检测装置及其检测方法；检测装置包括：菲索干涉仪、偏振片、第一旋转装置、第二旋转装置、球面标准镜和控制器；利用菲索干涉仪采集出射光在某一偏振方向的第一幅干涉图，然后旋转偏振片90°采集另一幅干涉图，将两幅干涉图作差，获得第一干涉图；旋转待测球面镜180°，并继续旋转偏振片90°采集第三幅干涉图，继续旋转偏振片90°采集第四幅干涉图，将两幅干涉图作差得到第二干涉图；最后将第二干涉图旋转180°与第一干涉图叠加可获得更准确的球面镜的本征双折射。本发明能够有效地减弱待测球面镜应力双折射对检测结果的影响同时可以消除系统误差，极大地提升了检测精度，整体检测过程简单，具有很高的商用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面镜 双折射 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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