[发明专利]高硬度、高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202211170761.2 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115505886B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;朱建博;张蕊;刘艳梅;徐远剑 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）;恩盛德(天津)精密工具股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C28/00;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层交替叠加而成，涂层调制周期为55～175nm，周期数≥10；所述AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层的调制比为1:1～9:1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 硬度 耐磨性 alcrsin alcrmosin 纳米 多层 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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