[发明专利]一种多参考点高精度掩膜版贴片装置

摘要

本发明涉及掩膜版刻划技术领域，提出了一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，包括机架，设于机架上的第一调整组件、支柱和第一推顶件，设于第一调整组件上的摄像机，设于支柱顶端的第二调整组件，设于第二调整组件上的压板，设于第一推顶件顶端的支撑台，设于支撑台上的第三调整组件，第三调整组件位于掩膜版的下方，掩膜版位于压板和第二调整组件之间，贴片位于第三调整组件和掩膜版之间，压板和掩膜版实现在XZ方向的移动和绕Y轴的转动，贴片借助第三调整组件实现XYZ方向的微调，摄像机为两个且用于定位掩膜版的位置，贴片借助第三调整组件贴合在掩膜版上。通过上述技术方案，解决了相关技术中设备贴合精度不高的问题。