[发明专利]一种气相沉积镀膜用挂具在审
| 申请号： | 202211149937.6 | 申请日： | 2022-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN115505892A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王焱;曲庆;李小朋;李鹤前吉 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晟亚实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 浙江启明星专利代理有限公司 33492 | 代理人： | 张抗震 |
| 地址： | 314016 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于气相沉积镀膜技术领域，尤其为一种气相沉积镀膜用挂具，包括底座、底杆、顶杆、定位件和挂环，所述底座上转动连接有底杆，所述底杆上螺纹连接有顶杆，所述底杆和顶杆上均配合设置有定位件，所述定位件上固定连接有挂环。本发明设计的气相沉积镀膜用挂具，能够根据工件的尺寸，对挂环之间的间距进行调节，使得挂环之间的间距适应工件的长度，从而能够充分利用挂具的挂装空间，提高使用效果，该装置设计的挂具能够根据气相沉积镀膜机器的腔体高度进行调节，根据气相沉积镀膜机器腔体高度决定顶杆在底杆上的安装连接，通过调节能够适用不同高度的机器使用，提高挂具的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 镀膜 用挂具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴晟亚实业有限公司，未经嘉兴晟亚实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211149937.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
