[发明专利]一种提高出光效率的深紫外LED在审
| 申请号： | 202211148690.6 | 申请日： | 2022-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN115483326A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 岳金顺;陈景文;张骏;张毅 | 申请（专利权）人： | 苏州紫灿科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 张杰 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种提高出光效率的深紫外LED，包括依次层叠设置的增透层、蓝宝石衬底、N型半导体层、发光层和P型半导体层；蓝宝石衬底远离N型半导体层一侧表面刻蚀成核区图案，沉积增透层，然后采用激光退火工艺，使增透层达到熔融状态，并基于成核区图案自组装形成若干半球状或半椭球状的凝聚体。本发明通过薄膜材料的自组装半球形，无需纳米压印、光刻、等离子体刻蚀等复杂图形化工艺流程，可以大幅提高深紫外LED的背面出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 效率 深紫 led | ||
【主权项】：
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