[发明专利]一种半球形工件高均匀性镀膜装置及方法在审
| 申请号： | 202211146558.1 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115572954A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 白峻杰;李钱陶;赵明强 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 张文静 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及异形工件镀膜领域，具体涉及一种半球形工件高均匀性镀膜装置及方法。本发明创新性的采用在镀膜过程中驱动镀膜机靶枪的方式，使靶枪在镀膜过程中调整倾斜角度，进而提高半球形工件表面镀膜均匀性；另外通过一种半球形镀膜均匀性测试工装，完成多个不同倾斜角度下靶枪镀膜厚度和均匀性的标定，从而确定不同倾斜角度下靶枪对半球形工件各点的镀膜厚度，进而计算靶枪在整个半球形工件镀膜过程中各个角度下的时间占比，从而达到大幅度优化半球形工件镀膜均匀性的目的。该种方法经实测，半球形工件镀膜均匀性优于±2％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半球形 工件 均匀 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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