[发明专利]衬底处理装置在审
| 申请号： | 202211136698.0 | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115846259A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 安武阳介;中井仁司 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 陈甜甜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底处理装置。衬底处理装置(100)具备旋转基座(SB)、多根夹盘销(37)、洗净机构(10)、及提升销(35)。洗净机构(10)配置在衬底(W)的上方，将衬底(W)的背面(Wb)物理性洗净。多根夹盘销(37)具有抵接面(372a)及对向面(371a)。抵接面(372a)于固持衬底(W)时抵接于基板(W)。对向面(371a)从抵接面(372a)的下端朝相对于铅直方向交叉的方向延伸。对向面(371a)与衬底(W)的正面(Wa)对向。对向面(371a)与旋转基座(SB)的周缘部(Ra)的上表面(Ra1)相邻，且，配置在与旋转基座(SB)的周缘部(Ra)的上表面(Ra1)大致相同的高度。旋转基座(SB)于上表面具有喷出气体的气体喷出口(33e)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 装置 | ||
【主权项】：
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