[发明专利]探针卡探针及探针卡探针测试方法在审
| 申请号： | 202211112490.5 | 申请日： | 2022-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115201654A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 梁建;罗雄科 | 申请（专利权）人： | 上海泽丰半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;H05K7/20 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黎飞鸿;郑纯 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种探针卡探针及探针卡探针测试方法，其中探针卡探针包括针尖、针段体和针尾；其中针段体设置于针尖与针尾之间，针段体包括第一针段体和第二针段体，第一针段体的一端设置于针尾一侧，第一针段体的截面积大于第二针段体的截面积；针尾设置于探针卡上；针尾设置有预设倾斜角度；针尖用于接触晶圆凸点；针尖的截面积小于第一针段体的截面积；其中当针尖接触晶圆凸点，经由针段体、针尾与探针卡设备传输输入信号/输出信号；其中针段体保证探针卡探针的流通能力。本说明书通过对探针卡探针进行分段设计，不仅保证更好的通流能力，实现大弹力更微小的探针，而且适于小间距芯片测试，避免了测试短路等问题，增强探针的耐用性。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 方法 | ||
【主权项】：
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