[发明专利]液态金属基底清洗方法、及清洗、涂覆的一体化装置在审
| 申请号： | 202211111691.3 | 申请日： | 2022-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN115522205A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡昌礼;耿成都;杜旺丽;杨应宝;安健平;唐会芳;孔令航 | 申请（专利权）人： | 云南中宣液态金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/02 | 分类号： | C23G1/02;C23G5/00;C23G5/02 |
| 代理公司： | 北京谱帆知识产权代理有限公司 11944 | 代理人： | 曲永芳 |
| 地址： | 655400 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种液态金属基底清洗方法、及清洗、涂覆的一体化装置，属于热界面材料施工技术领域。上述方法包括基底清洗和清洗合格检验：所述基底清洗包括等离子清洗、无机清洗剂清洗、有机试剂清洗中的一种或多种，所述等离子清洗、无机清洗剂清洗、有机试剂清洗任意组合；所述清洗合格检验根据有机试剂在所述液态金属基底表面扩散面积判断是否合格，当所述扩散面积达到预定要求，则清洗完成；当所述扩散面积没有达到预定要求，则重复所示基底清洗步骤，如此循环，直至所述扩散面积达到预定要求。本发明彻底的将芯片和散热器等基底表面清洗干净，从根本上解决了液态金属与基底不浸润的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 金属 基底 清洗 方法 一体化 装置 | ||
【主权项】：
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