[发明专利]一种自动清除光罩微粒的方法、装置及设备在审
| 申请号： | 202211108054.0 | 申请日： | 2022-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN115407617A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 李佳佳 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 张春玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种自动清除光罩微粒的方法、装置及设备，该装置包括光罩放置平台，位于光刻机内部；抓取部件，用于在控制器的控制下抓取光罩；信息采集模块，包括位于所述光罩放置平台上方的摄像装置；微粒吹扫部件，包括至少一个吹扫气枪，位于所述光罩放置平台上方；控制器，用于确定光刻机中的光罩上存在微粒时，控制所述抓取部件抓取所述光罩并放置在所述光罩放置平台上，并控制所述摄像装置采集图片，根据采集的图片确定所述微粒的物理位置坐标，控制所述至少一个吹扫气枪对准所述微粒吹扫以清除所述光罩上的微粒。本申请自动放置有微粒的光罩至光罩放置平台并定位微粒位置，控制吹扫气枪对准并清除微粒，提高生产效率，降低光罩损耗率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 清除 微粒 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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