[发明专利]通信器件、传感器件、表面声波谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211105448.0 | 申请日： | 2022-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN116318033A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 樊永辉;吴先民;许明伟;樊晓兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇芯通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/145;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 闫海珍 |
| 地址： | 518037 广东省深圳市福田区华富街道莲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种通信器件、传感器件、表面声波谐振器及其制作方法，表面声波谐振器包括：衬底、压电层以及金属层；压电层位于衬底上；金属层位于压电层远离衬底的一侧上，金属层包括叉指换能器与反射栅，反射栅位于叉指换能器的两侧，反射栅与叉指换能器的材质不同。根据本发明的实施例，可使反射栅与叉指换能器的传输性能各自优化，从而降低器件传输损耗、提高品质因子以及频率选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 通信 器件 传感 表面 声波 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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