[发明专利]通信器件、传感器件、表面声波谐振器及其制作方法

权利要求书

1.一种表面声波谐振器，其特征在于，包括：

衬底；

压电层，位于所述衬底上；以及

金属层，位于所述压电层远离所述衬底的一侧上；所述金属层包括叉指换能器与反射栅，所述反射栅位于所述叉指换能器的两侧；所述反射栅与所述叉指换能器的材质不同。

2.根据权利要求1所述的表面声波谐振器，其特征在于，所述反射栅的材质的密度与所述叉指换能器的材质的密度之比大于等于5:1。

3.根据权利要求2所述的表面声波谐振器，其特征在于，所述反射栅的材质的密度与所述叉指换能器的材质的密度之比大于等于7:1。

4.根据权利要求1所述的表面声波谐振器，其特征在于，所述反射栅与所述叉指换能器的材质分别为Au、Pt、Cu、Al、Mo、W、Ti与Ta中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的表面声波谐振器，其特征在于，所述表面声波谐振器为单端口谐振器或双端口谐振器，所述单端口谐振器包括一个叉指换能器，所述双端口谐振器包括：输入叉指换能器与输出叉指换能器。

6.根据权利要求1所述的表面声波谐振器，其特征在于，朝向远离所述叉指换能器的方向上，所述反射栅包括平行设置的N个栅条，N为大于等于2的整数。

7.根据权利要求1所述的表面声波谐振器，其特征在于，所述压电层的材质为石英、氧化锌、钽酸锂、铌酸锂、锆钛酸铅、氮化镓与氮化铝中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的表面声波谐振器，其特征在于，还包括：钝化层，覆盖所述金属层与所述压电层。

9.一种表面声波谐振器的制作方法，其特征在于，包括：

提供衬底，所述衬底上具有压电层；

在所述压电层远离所述衬底的一侧上形成金属层，所述金属层包括叉指换能器与反射栅，所述反射栅位于所述叉指换能器的两侧；所述反射栅与所述叉指换能器的材质不同。

10.根据权利要求9所述的表面声波谐振器的制作方法，其特征在于，所述叉指换能器与所述反射栅在不同工序中形成，先形成所述叉指换能器后形成所述反射栅，或先形成所述反射栅后形成所述叉指换能器。

11.根据权利要求9或10所述的表面声波谐振器的制作方法，其特征在于，所述叉指换能器与所述反射栅中的至少一个采用金属剥离工艺形成，或先整面蒸发或溅射金属材料层，后通过刻蚀工艺图形化所述金属材料层形成。

12.根据权利要求9所述的表面声波谐振器的制作方法，其特征在于，还包括：在所述压电层与所述金属层远离所述衬底的一侧上形成钝化层。

13.一种通信器件，其特征在于，包括：权利要求1至8任一项所述的表面声波谐振器。

14.一种传感器件，其特征在于，包括：权利要求1至8任一项所述的表面声波谐振器。