[发明专利]一种应力和结构梯度的二硼化钛涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202211102848.6 | 申请日： | 2022-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN115612984A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 吴彼;高禩洋;段德莉;杨晓光;赵智超;李明阳;王鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明属于材料表面工程领域，涉及一种原位沉积的应力和结构梯度的二硼化钛涂层及其制备方法。该方法通过物理气相沉积工艺参数的综合调控获得具有多层结构和性能梯度的TiB |
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| 搜索关键词： | 一种 应力 结构 梯度 二硼化钛 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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