[发明专利]快速响应的薄膜铂电阻温度传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202211099139.7 申请日: 2022-09-07
公开(公告)号: CN115597736A 公开(公告)日: 2023-01-13
发明(设计)人: 管武干;兰之康 申请(专利权)人: 南京高华科技股份有限公司
主分类号: G01K7/18 分类号: G01K7/18
代理公司: 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 代理人: 景艳伟
地址: 210046 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种快速响应的薄膜铂电阻温度传感器及其制备方法,属于温度参数的实时测量技术领域。其中,该薄膜铂电阻温度传感器包括:金属底座、隔热件以及薄膜铂电阻;金属底座朝向待测介质的一侧设置有凹槽,所述隔热件与所述薄膜铂电阻依次叠设在所述凹槽内,以及,所述薄膜铂电阻背离所述隔热件的一侧还设置有介质隔离层,以提高薄膜铂电阻温度传感器的测温响应能力。本发明可以实现快速测温的目的,该封装结构以及方法无需在铂电阻外增加金属保护壳体防护,可以使薄膜铂电阻温度传感器的测温响应速度由原来的数十秒提升至数秒,产生明显测温快速响应效果。
搜索关键词: 快速 响应 薄膜 铂电阻 温度传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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