[发明专利]一种靶面角度可调节的防溅射靶在审
| 申请号： | 202211093865.8 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN115628888A | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 郑鸿儒;范林东;胡建龙;孟德利;戴路 | 申请（专利权）人： | 长光卫星技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130032 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种靶面角度可调节的防溅射靶，涉及用于降低溅射产物返流污染的防溅射系统技术，解决现有对不同来流条件产生的溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。本发明包括防溅射靶骨架主体、防溅射靶翅片组和固定支杆组；防溅射靶骨架主体包括冷却圆管、上冷却直管、下冷却直管、支撑管、进液管和出液管；冷却圆管所在平面法向上、下两端分别连接有出液管、进液管；冷却圆管分别与上冷却直管、下冷却直管焊接连通；下冷却直管下方设置有支撑管，支撑管两端焊接在冷却圆管上；多个防溅射靶翅片组组成一个圆形平板；上冷却直管和下冷却直管上分别固定有两个固定支杆组。本发明减少高能粒子轰击面积并调节轰击角度，降低溅射产物生成量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 调节 溅射 | ||
【主权项】：
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