[发明专利]一种高浓度氢气传感器及其制备方法和用途在审
申请号: | 202211093207.9 | 申请日: | 2022-09-08 |
公开(公告)号: | CN115586225A | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 张洪文;符浩;雷彪;周乐;赵倩;蔡伟平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院;山东智微检测科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26;G01N27/12 |
代理公司: | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人: | 魏玉娇 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明属于氢气传感器技术领域,特别是一种适用于测试高于1%的氢气传感器。本发明针对目前基于半导体式气敏传感器在高能浓度氢气传感方面较为困难,考虑到钯、金、铂等贵金属对氢气具有选择性吸附且对氢气有催化溢流的效应,降低反应的活化能,利用贵金属与半导体的协同作用从而可以提高氢气检测上限,制得了贵金属掺杂的多孔氧化锡或者氧化铟多孔薄膜,作为一种对高浓度氢气检测的半导体传感器件。该半导体式高浓度氢气传感器能够检测出1%以上浓度的氢气,且重复利用性能好。 | ||
搜索关键词: | 一种 浓度 氢气 传感器 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】:
暂无信息
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