[发明专利]一种具有多支路压力独立调节结构的特气分流箱在审
| 申请号： | 202211077953.9 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN115597001A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 李超;朱学明;陈伟才;单欢欢;李涛 | 申请（专利权）人： | 安徽壹月科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/06;F16K11/08 |
| 代理公司： | 安徽专烨知识产权代理有限公司 34194 | 代理人： | 张云枝 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市包*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了应用于半导体领域的一种具有多支路压力独立调节结构的特气分流箱，该特气分流箱通过在左右两个内箱体内设置有独立的两套特气分流管路，可以将两套特气分流管路集成在一个VMB外箱体内，有利于缩减设备使用量，在一定程度上降低了该装置的使用成本，同时，通过在每个特气分流支管上均安装有调压阀以及压力表a，便于根据不同用气设备使用需求，对不同支路上特气供给时的压力进行独立调节以及监控，有效地提升了该装置的使用灵活性，同时，通过设置有三通管d‑a和三通管d‑b对氮气供给管内供给的氮气进行分流，可以为左右两个内箱体内的多个特气分流支管进行统一氮气供给，有利于对内部结构进行集成，在一定程度上降低该装置的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 支路 压力 独立 调节 结构 分流 | ||
【主权项】：
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