[发明专利]一种超导量子约瑟夫森结及其制备方法在审
| 申请号： | 202211071631.3 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115312656A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 郑伟文 | 申请（专利权）人： | 量子科技长三角产业创新中心 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/22;H01L39/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 任洁芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区青龙*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涉及量子芯片领域，特别是一种超导量子约瑟夫森结及其制备方法，通过在衬底上设置第一超导金属层；对所述第一超导金属层图形化，得到超导金属图形；在所述超导金属图形表面设置第一绝缘层；所述第一绝缘层覆盖所述超导金属图形的目标侧壁；在设置过所述第一绝缘层的衬底设置第二超导金属层；去除所述超导金属图形上方的第二超导金属层，得到约瑟夫森结前置物；在所述约瑟夫森结前置物的表面设置第二绝缘层，所述第二绝缘层将所述第二超导金属层覆盖，得到约瑟夫森结。本发明使原本由光刻线宽决定的约瑟夫森结精度转变为厚度决定，突破了设备的限制，降低了对设备的要求，降低了生产成本，增加了制备方法的泛用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超导 量子 约瑟夫 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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