[发明专利]双流体喷嘴装置在审
| 申请号： | 202211069727.6 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN116174186A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王淑梅;刘翠;蒋嘉 | 申请（专利权）人： | 盛华基材（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04;B05B7/10;B05B7/00;B05B15/40;H05F1/00 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 李文洋 |
| 地址： | 300308 天津市东丽区华明*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种双流体喷嘴装置，包括由非金属导电或防静电材质制作的喷嘴壳体与喷嘴芯；所述喷嘴芯从喷嘴壳体的上部螺纹旋入到喷嘴壳内，喷嘴芯的中部从上到下设有第一流体通道，所述喷嘴壳体的侧部设有第二流体通道，第二流体通道与喷嘴壳体内部的腔体连通，喷嘴芯的上部与喷嘴壳体的腔体之间设有密封圈，喷嘴芯的下部与喷嘴壳体之间留有间隙，喷嘴壳体的下部设有流体混合区域。本发明喷嘴壳体与喷嘴芯全部采用导电或防静电非金属材料制作，因而可以在有静电防护需求情况下使用。 | ||
| 搜索关键词： | 双流 喷嘴 装置 | ||
【主权项】：
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