[发明专利]一种集成光波导生物传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211054088.6 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115406863A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 范元龙;安甲林;史腾;吴俊琳;李轩;黄彬;邵晓鹏 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学杭州研究院 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/45;G01N21/75;G01N21/17 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 孙孟辉 |
| 地址： | 311231 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于生物传感器技术领域，公开了一种集成光波导生物传感器机器制作方法。此生物传感器包括尾纤半导体激光器、双微透镜和光波导。所述光波导内具有一条脊型波导芯，所述双微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，所述尾纤半导体激光器的尾端具有第一微透镜，所述脊型波导芯的始端具有第二微透镜，所述第一微透镜对准第二微透镜，所述脊型波导芯的末端具有分布式布拉格反射镜。本发明的光波导既保留了传统干涉类光波导的高灵敏度，又具有结构简单，制造可重复性高的特点，此外，本发明的光耦合方法，实现了光源与光波导，光波导与光探测器之间的高效光耦合，进而降低整个传感系统的成本，并提高其集成度与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 波导 生物 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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