[发明专利]衬底浮起装置在审
| 申请号： | 202211048054.6 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115991392A | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 朴庸硕;朴镐胤;赵才衍 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00;B01D29/03 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 江亚男;方挺 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以防止与输送中的衬底发生碰撞并且可以均匀地形成施加到浮起的衬底的下表面的流体的压力的衬底浮起装置。为此，本发明公开了以下特征，包括：主体，通过下部流入口流入的流体填充其内部空间；浮起板，配置在所述内部空间的上部，并且具有使填充到所述内部空间的流体通过并利用喷射流体的喷射压力使放置在上侧的衬底浮起的多个喷射孔；以及流动引导部件，配置在所述内部空间中，使通过所述下部流入口流入到所述内部空间的流体分散，并使从所述多个喷射孔喷射的流体的喷射压力均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 浮起 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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