[发明专利]粒子束柱在审
| 申请号： | 202211047168.9 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115732295A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | E.埃瑟斯;B.加姆 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/10;H01J37/141;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种粒子束柱，该粒子束柱被配置为生成例如电子或离子的带电粒子的粒子束，并且将粒子束引导到样品上。粒子束柱包括多孔径光阑和偏转系统，该偏转系统用于选择性地引导粒子束通过设置在多孔径光阑中的多个孔径之一。孔径具有不同的大小，以便将粒子束的电流强度限制为不同的值。粒子束柱还包括用于改变在第一光阑的上游的粒子束的发散角的透镜。透镜可以包括磁透镜，该磁透镜包括具有多个部分的磁芯，这些部分彼此电绝缘并且可以在操作期间具有明显不同的电位。磁芯的一些部分可以在操作期间具有与第一光阑相同的电位。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司，未经卡尔蔡司显微镜有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211047168.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
